2/3インチ マシンビジョンレンズ

2/3インチマシンビジョンレンズesシリーズは、Cマウントを採用した高解像度レンズシリーズです。最大2/3インチのセンサーに対応し、歪みの少ない広角視野を提供します。

これらマシンビジョンレンズこれらの装置は半導体の検査に使用できます。他のマシンビジョンシステムコンポーネントと組み合わせることで、深紫外波長の光を用いてウェーハやマスクを検査し、必要な高速性と解像度を実現します。

計測と検査は、半導体製造プロセスの管理において重要です。半導体ウェーハの製造プロセス全体は400～600の工程からなり、1～2ヶ月かけて行われます。プロセスの初期段階で何らかの欠陥が発生すると、その後のすべての処理が無意味になってしまいます。

検査装置の主な役割は、欠陥を検出し、その位置を特定すること（位置座標の特定）です。マシンビジョンレンズは、不良部品や欠陥のある部品が大きなアセンブリに組み込まれる前に検出します。不良品を早期に検出して生産工程から除去できれば、工程内の無駄が減り、歩留まりが直接向上します。手動による監視や検査方法と比較して、高品質の光学レンズを備えた自動マシンビジョンシステムは、より高速で、長時間稼働し、より安定した結果を生み出します。