2/3インチマシンビジョンレンズ

2/3インチマシンビジョンレンズesはCマウントの高解像度レンズシリーズです。最大2/3インチセンサーに対応し、歪みの少ない画角を提供します。

これらのマシンビジョンレンズは、半導体検査に使用できます。他のマシンビジョンシステムコンポーネントと組み合わせることで、深紫外線波長の光を用いてウェハやマスクを検査し、必要な高速性と高解像度を実現します。

計測と検査は、半導体製造プロセスの管理において重要です。半導体ウェーハの製造プロセス全体は400～600工程から成り、1～2ヶ月かけて行われます。プロセスの早い段階で欠陥が発生すると、その後の工程はすべて無意味になります。

欠陥の検出と位置の特定（位置調整）は、検査装置の主な役割です。マシンビジョンレンズは、大きなアセンブリに組み込まれる前に、誤った部品や不良品を捕捉します。不良品を早期に検出し、製造工程から排除できればできるほど、工程における無駄が減り、歩留まりの向上につながります。手作業による監視・検査方法と比較して、高品質の光学レンズを備えた自動化されたマシンビジョンシステムは、より高速で、疲れることなく稼働し、より安定した結果を生み出します。