2/3インチマシンビジョンレンズ

2/3インチマシンビジョンレンズesはCマウントの高解像度レンズシリーズです。最大 2/3 インチのセンサー用に設計されており、歪みの少ない角度の視野を提供します。

これらマシンビジョンレンズesは半導体の検査に使用できます。他のマシンビジョンシステムコンポーネントと組み合わせて、深紫外波長の光を使用してウェーハとマスクを検査し、必要な高速性と解像度を実現します。

計測と検査は半導体製造プロセスの管理にとって重要です。半導体ウェーハの製造工程は全体で400～600の工程があり、1～2か月かけて行われます。プロセスの早い段階で欠陥が発生すると、その後のすべての処理が無意味になってしまいます。

欠陥を検出し、その位置を特定する（位置合わせ）ことが検査装置の主な役割です。マシン ビジョン レンズは、大規模なアセンブリに組み込まれる前に、不正確な部品や不良部品を捕捉します。欠陥品をより早く検出して生産プロセスから取り除くことができれば、プロセス内の無駄が減り、歩留まりが直接的に向上します。手動による監視および検査方法と比較して、高品質の光学レンズを備えた自動マシン ビジョン システムは高速で、精力的に動作し、より一貫した結果を生成します。