2/3 tums maskinseende linser

2/3"maskinseende linses är en serie högupplösta objektiv med C-fäste. De är designade för upp till 2/3-tums sensorer och ger ett vinkelfält med låg distorsion.

Dessamaskinseende linses kan användas för att inspektera halvledare. I kombination med andra maskinseendesystemkomponenter använder de djupt ultraviolett våglängdsljus för att inspektera wafers och masker för att uppnå den nödvändiga höga hastigheten och upplösningen.

Metrologi och inspektion är viktiga för hanteringen av halvledartillverkningsprocessen. Det finns 400 till 600 steg i den övergripande tillverkningsprocessen av halvledarskivor, som genomförs under loppet av en till två månader. Om några defekter uppstår tidigt i processen, är all efterföljande bearbetning meningslös.

Att upptäcka defekter och ange deras placering (positionskoordinering) är den primära rollen för inspektionsutrustning. Maskinseendelinser fångar upp felaktiga eller dåliga delar innan de byggs in i större enheter. Ju tidigare defekta föremål kan upptäckas och avlägsnas från en produktionsprocess, desto mindre avfall i processen, vilket direkt förbättrar avkastningen. Jämfört med manuella metoder för övervakning och inspektion är automatiserade maskinseendesystem med en optisk lins av hög kvalitet snabbare, arbetar outtröttligt och genererar mer konsekventa resultat.