2/3인치 머신 비전 렌즈

2/3인치머신 비전 렌즈이 렌즈 시리즈는 C 마운트를 사용하는 고해상도 렌즈입니다. 최대 2/3인치 센서에 맞게 설계되었으며, 왜곡이 적은 넓은 시야각을 제공합니다.

이러한 머신 비전 렌즈는 반도체 검사에 사용될 수 있습니다. 다른 머신 비전 시스템 구성 요소와 결합하여 심자외선 파장을 이용하여 웨이퍼와 마스크를 검사함으로써 필요한 고속 및 고해상도를 구현합니다.

계측 및 검사는 반도체 제조 공정 관리에 매우 중요합니다. 반도체 웨이퍼의 전체 제조 공정은 400~600단계로 이루어져 있으며, 이 모든 과정은 1~2개월에 걸쳐 진행됩니다. 만약 공정 초기에 결함이 발생하면, 이후의 모든 공정이 무의미해집니다.

검사 장비의 주요 역할은 결함을 감지하고 그 위치를 특정하는 것(위치 좌표)입니다. 머신 비전 렌즈는 불량 부품이 조립되기 전에 이를 걸러냅니다. 불량품을 조기에 발견하고 생산 공정에서 제거할수록 낭비가 줄어들어 생산량이 직접적으로 향상됩니다. 수동 검사 방식과 비교했을 때, 고품질 광학 렌즈를 탑재한 자동화된 머신 비전 시스템은 속도가 빠르고, 지속적으로 작동하며, 더욱 일관된 결과를 제공합니다.