2/3" maskinsynslinser

2/3"maskinsynslinsees er en serie høyoppløselige objektiver med C-fatning. De er designet for opptil 2/3-tommers sensor og gir vinkelvisningsfelt med lav forvrengning.

Dissemaskinsynslinsees kan brukes til å inspisere halvledere. I kombinasjon med andre maskinsynssystemkomponenter bruker de dypt ultrafiolett bølgelengdelys for å inspisere wafere og masker for å oppnå den nødvendige høye hastigheten og oppløsningen.

Metrologi og inspeksjon er viktig for styringen av halvlederproduksjonsprosessen. Det er 400 til 600 trinn i den totale produksjonsprosessen av halvlederskiver, som utføres i løpet av en til to måneder. Hvis det oppstår feil tidlig i prosessen, gir ikke all den etterfølgende behandlingen mening.

Å oppdage defekter og spesifisere deres plassering (posisjonskoordinering) er den primære rollen til inspeksjonsutstyr. Maskinsynslinser fanger opp feil eller dårlige deler før de bygges inn i større enheter. Jo raskere defekte varer kan oppdages og fjernes fra en produksjonsprosess, jo mindre avfall i prosessen, noe som direkte forbedrer utbyttet. Sammenlignet med manuelle metoder for overvåking og inspeksjon, er automatiserte maskinsynssystemer med en optisk linse av høy kvalitet raskere, fungerer utrettelig og genererer mer konsistente resultater.