2/3 tuuman konenäkölinssit

2/3 tuumaakonenäkölinssies ovat C-bajonetilla varustettuja korkearesoluutioisia objektiiveja. Ne on suunniteltu jopa 2/3 tuuman kennolle ja tarjoavat kuvakulman, jossa on vähän vääristymiä.

Nämäkonenäkölinssikonenäkölaitteita voidaan käyttää puolijohteiden tarkastamiseen. Yhdessä muiden konenäköjärjestelmän komponenttien kanssa ne käyttävät syvän ultraviolettiaallonpituuden valoa kiekkojen ja maskien tarkastamiseen tarvittavan suuren nopeuden ja resoluution saavuttamiseksi.

Metrologia ja tarkastus ovat tärkeitä puolijohteiden valmistusprosessin hallinnassa. Puolijohdekiekkojen kokonaisvalmistusprosessissa on 400–600 vaihetta, jotka suoritetaan yhden tai kahden kuukauden aikana. Jos prosessin alkuvaiheessa ilmenee vikoja, kaikki myöhempi käsittely ei ole järkevää.

Vikojen havaitseminen ja niiden sijainnin määrittäminen (paikan koordinointi) on tarkastuslaitteiden ensisijainen tehtävä. Konenäkölinssit havaitsevat virheelliset tai vialliset osat ennen kuin ne kootaan suurempiin kokoonpanoihin. Mitä nopeammin vialliset osat voidaan havaita ja poistaa tuotantoprosessista, sitä vähemmän prosessissa syntyy jätettä, mikä parantaa suoraan saantoa. Verrattuna manuaalisiin valvonta- ja tarkastusmenetelmiin, korkealaatuisilla optisilla linsseillä varustetut automatisoidut konenäköjärjestelmät ovat nopeampia, toimivat väsymättä ja tuottavat johdonmukaisempia tuloksia.